Mipako ya CVD Silicon Carbide (SiC).

Mipako ya CVD SiC kimsingi ni safu ya kabidi ya silikoni iliyowekwa kwenye grafiti, na hutumika sana katika zana za epitaksi ambapo halijoto na usafi ni muhimu. Katika mistari halisi ya uzalishaji, mara nyingi utaiona katika mifumo kutoka AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, na pia baadhi ya majukwaa yanayohusiana na AMAT. Kinachofanya iwe muhimu si tu upinzani wa halijoto, bali pia utulivu wa jumla wakati wa muda mrefu. Chini ya hali ya kawaida ya epitaksi - hidrojeni, amonia, au hata gesi zenye klorini - mipako hubaki thabiti kiasi na hulinda grafiti iliyo chini. Hiyo husaidia kuweka uwanja wa joto thabiti zaidi na hupunguza nafasi ya chembe kuonekana wakati wa ukuaji.

Mara nyingi, mipako hiyo hutumika kwenye sehemu kama vile vibebeo vya kushikilia, vibebaji vya wafer, pete za grafiti, au vipengele vya nusu-mwezi. Hizi zote zinahusika moja kwa moja katika kupasha joto au kuweka wafer, kwa hivyo kutokuwa na utulivu wowote mdogo kunaweza kuathiri mavuno. Kwa sababu hiyo, sehemu zilizofunikwa mara nyingi huchukuliwa kama vifaa vya matumizi ambavyo bado vinahitaji kuaminika kwa mizunguko mingi, haswa katika uzalishaji wa inchi 4 hadi 12.