Pete ya grafiti iliyofunikwa na TaC

Semixlab TaC Coated Graphite Ring ni sehemu muhimu inayotumiwa hasa ndani ya vifaa vya utengenezaji wa semiconductor. Inajumuisha sehemu ndogo ya grafiti yenye usafi wa hali ya juu iliyopakwa kwa ustadi na safu ya Tantalum Carbide (TaC). Mipako hii ya juu hutoa uso wa juu ambao hulinda grafiti ya msingi kutoka kwa mazingira ya kemikali kali na hali ya juu ya joto.

Pete zetu za Graphite Zilizopakwa TaC ni muhimu katika michakato kama vile Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali (CVD), Uwekaji wa Mvuke Mwilini (PVD), na uwekaji wa plasma. Zinatumika kama kizuizi cha kinga, pete ya mwongozo, au sehemu muhimu ya kimuundo katika chumba cha majibu, kuhakikisha uadilifu na ubora wa kaki ya mwisho ya semiconductor.

Maombi katika Mchakato wa Semiconductor

Sifa dhabiti za Pete zetu za Graphite Zilizopakwa TaC kwa ajili ya utengenezaji wa Semiconductor zinazifanya ziwe muhimu sana katika matumizi kadhaa muhimu.

1. Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali (CVD)

Katika michakato ya CVD, ambapo gesi huathiriwa kwa joto la juu ili kuweka filamu nyembamba kwenye kaki, chumba cha majibu ni mazingira yenye ukali sana. Pete zetu zilizopakwa za CVD TaC hutumiwa kama pete za susceptor, pete za mwongozo, na pete za mjengo. Hutoa ulinzi wa kipekee dhidi ya gesi babuzi na mashambulizi ya kemikali, kuzuia uchafuzi wa chembe na kuhakikisha unene wa filamu sawa kwenye kaki. Uthabiti wa hali ya juu wa joto wa TaC huruhusu utendakazi dhabiti hata kwenye joto kali.

2. Uwekaji wa Mvuke wa Kimwili (PVD)

Kwa uvukizi wa PVD na uvukizi wa boriti ya elektroniki, pete zetu hutumika kama sehemu muhimu ndani ya chumba cha utupu. Hufanya kazi kama pete za kukinga au pete za mwongozo zinazolinda sehemu nyingine nyeti dhidi ya uchafu unaomwagika na mlipuko wa plasma. Ugumu na msongamano wa ajabu wa mipako ya TaC huifanya kuwa sugu kwa mmomonyoko wa chembe, kupunguza kwa kiasi kikubwa hatari ya uharibifu wa sehemu na kasoro za kaki zinazofuata.

3. Plasma Etching

Wakati wa kuweka plasma, plasma inayofanya kazi sana hutumiwa kuondoa nyenzo kutoka kwa kaki kwa kuchagua. Utaratibu huu unahusu vipengele

Manufaa ya Pete za Graphite za Semixlab TaC

1. Uimara wa Juu

●Mipako mnene ya CVD TaC hustahimili plasma, shambulio la kemikali, na uvaaji wa mitambo vizuri zaidi kuliko grafiti tupu.

2. Usafi wa Juu kwa Mavuno ya Semiconductor

●Imetengenezwa kwa grafiti ya uchafu wa kiwango cha chini na mipako ya TaC ya usafi wa hali ya juu ili kupunguza uchafuzi wa ioni.

3. Usahihi wa Machining & Udhibiti wa Mipako

●Utengenezaji wa hali ya juu kwa uvumilivu mkali; sare mipako unene kwa ajili ya utendaji thabiti.

4. Usaidizi wa Kubinafsisha na Uhandisi

●Chaguo za vipenyo tofauti, wasifu wa sehemu mbalimbali, unene wa kupaka na vipengele vya kuziba.

● Ushauri wa kiufundi kwa miundo mahususi ya mchakato.

5. Uchapishaji wa Haraka na Ugavi wa Kimataifa

●Uzalishaji wa haraka wa sampuli, uratibu wa kimataifa na nyakati za kuaminika za kuongoza.