0200-06508 Ngao ya Kauri Juu ya 300mm

Katika mifumo ya hali ya juu ya usindikaji wa plasma ya semiconductor, vipengele vya ulinzi wa chumba vina jukumu muhimu katika kudumisha uthabiti wa mchakato, udhibiti wa uchafuzi, na maisha ya vifaa. 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm ni sehemu ya chumba cha kauri iliyobuniwa kwa usahihi iliyoundwa kwa ajili ya mazingira ya plasma yenye utendaji wa hali ya juu katika utengenezaji wa semiconductor.

Katika Semixlab, tunatoa vipengele vya kauri vya semiconductor vya usafi wa hali ya juu vilivyoundwa kwa ajili ya PECVD inayohitaji nguvu, plazma etch, na matumizi ya utuaji, na kusaidia vitambaa kuboresha uaminifu wa chumba na uthabiti wa mchakato wa wafer.

bidhaa Overview

Kifuniko cha Kauri cha Kinga ni sehemu ya kauri inayolinda iliyowekwa ndani ya eneo la juu la vyumba vya mchakato wa nusu-semiconductor, kwa kawaida karibu na maeneo ya uzalishaji wa plasma na usambazaji wa gesi.

Kazi yake kuu ni kulinda mwili wa chumba na miundo ya ndani ya metali kutokana na mfiduo wa moja kwa moja wa plasma, kutu kwa kemikali, na mkusanyiko wa utuaji wakati wa michakato ya utengenezaji wa nusu-semiconductor.

Kifaa cha 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm kimeundwa kwa ajili ya mifumo ya usindikaji wa wafer ya hali ya juu ya 300mm ambapo uthabiti wa plasma, uzalishaji mdogo wa chembe, na udhibiti wa uchafuzi ni muhimu.

● Kazi Kuu za Kifuniko cha Kauri

● Linda nyuso za chumba kutokana na mmomonyoko wa plasma

● Punguza uchafuzi wa chembe ndani ya chumba

● Dumisha mazingira thabiti ya RF na plasma

● Boresha usafi wa chumba na uwezekano wa kurudia mchakato

● Ongeza muda wa matengenezo ya vifaa na muda wa matumizi ya vipengele

Kadri miundo ya vifaa vya nusu-semiconductor inavyoendelea kupungua, vipengele vya ulinzi wa chumba kama vile ngao za kauri vimekuwa muhimu zaidi kwa uboreshaji wa mavuno na uthabiti wa mchakato.

Majukumu ya Kawaida katika Mifumo ya Semiconductor

Kifuniko cha Kauri cha AMAT 0200-06508 hutumiwa sana katika vifaa vya usindikaji wa plasma vya Vifaa Vinavyotumika (AMAT) kwa ajili ya utengenezaji wa wafer wa 300mm.

Ikiwa imewekwa katika eneo la chumba cha juu, sehemu hii ya kauri hufanya kazi kama sehemu muhimu ya ulinzi inayokabiliana na plazima ndani ya mazingira ya usindikaji wa plazima yenye msongamano mkubwa.

Majukumu Muhimu Yanajumuisha:

1. Kinga ya Plasma

Ngao ya kauri hutenganisha muundo wa chumba kutokana na mlipuko wa plasma wenye nguvu, na kusaidia kuzuia:

● mmomonyoko wa ukuta wa chumba

● uchafuzi wa metali

● uharibifu wa uso

2. Kupunguza Chembe

Utengenezaji wa hali ya juu wa semiconductor unahitaji mazingira ya chembe ndogo sana.

Kifuniko cha Kauri cha Kinga husaidia kupunguza:

● kunyunyizia nyenzo

● kuchubuka

● uchafu unaosababishwa na plasma

3. Utulivu wa RF na Plasma

Kwa sababu ya sifa zake thabiti za dielektri, ngao ya kauri huchangia:

● msongamano thabiti wa plasma

● tabia thabiti ya RF

● usawa ulioboreshwa wa mchakato

4. Upanuzi wa Maisha ya Chumba

Kwa kulinda miundo muhimu ya chumba kutokana na shambulio la moja kwa moja la plasma, ngao ya kauri husaidia kupunguza uchakavu wa chumba na masafa ya matengenezo, kuboresha muda wa kufanya kazi kwa vifaa na ufanisi wa uendeshaji.

Kwa kumalizia, 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm ni sehemu ya ulinzi wa chumba cha alumina cha kauri cha usafi wa juu iliyoundwa ili kuboresha uthabiti wa plasma, kupunguza uchafuzi, na kuongeza uaminifu wa mchakato katika mifumo ya hali ya juu ya utengenezaji wa semiconductor.

Kwa Nini Uchague Semixlab?

Semixlab inataalamu katika vipengele vya kauri vya nusu-semiconductor vyenye utendaji wa hali ya juu kwa ajili ya usindikaji wa plasma na mazingira ya utengenezaji wa wafer ya hali ya juu.

Tunatoa:

● Vipengele vya chumba cha kauri chenye usafi wa hali ya juu

● Vipuri vya ubadilishaji vya semiconductor vya usahihi

● Suluhisho maalum za kauri zinazostahimili plasma

● Usaidizi wa kuaminika kwa OEM ya nusu-semiconductor na programu za fab

Bidhaa zetu zimeundwa ili kukidhi mahitaji magumu ya michakato ya kisasa ya utengenezaji wa nusu-semiconductor. Tunatumai kwa dhati kuwa mshirika wako wa muda mrefu nchini China.