Vifaa vilivyotumika pete ya quartz ya AMAT

Name: Vifaa vilivyotumika pete ya quartz ya AMAT
Brand: Semixlab
Price: 60.0 USD
Availability: InStock
Rating: 5 (18 reviews)

Pete za Quartz za Semixlab AMAT zinajivunia usafi wa hali ya juu, kupunguza uchafuzi na kuongeza uadilifu wa mchakato. Pata mchoro wa hali ya juu, uwekaji, na usawazishaji wa uenezaji, unaosababisha udhibiti wa mchakato usio na kifani na uthabiti.Hii hutafsiri kuwa kasoro chache, mavuno mengi, na hatimaye, mzunguko wa uzalishaji wa gharama nafuu zaidi wa kitambaa chako.

ULINZI

Maelezo ya Kiufundi

Semixlab hutoa pete ya quartz ya usahihi wa juu. Bidhaa hii hutumiwa hasa ili kuhakikisha utuaji thabiti wa filamu za hali ya juu katika mchakato wa PECVD, huku ikiongeza ufanisi wa uzalishaji wa vifaa na mavuno ya kaki. Usambazaji wa plasma unazuiwa na usahihi wa kijiometri (± 0.1mm), uwanja wa mtiririko wa gesi ya mmenyuko umeboreshwa, na usawa wa filamu unaboreshwa hadi σ≤1.5%. Mchakato wa utangazaji wa bidhaa kwa-bidhaa umepunguza kiwango cha kasoro ya kaki kwa 30%.

Maelezo ya haraka:

Jina la utani: Pete ya Quartz, Kibebea cha Si kaki, Kiti cha Kupigia cha Quartz, Kiti cha Kupigia cha Quartz, Pete ya Chumba cha Juu, Pete ya Kuweka PECVD, Pete ya Kusambaza Gesi

Kusudi: Hakikisha uwekaji thabiti wa filamu za ubora wa juu katika mchakato wa PECVD, huku ukiongeza ufanisi wa uzalishaji wa vifaa na mavuno ya kaki.

Vigezo vya msingi: Inapendekezwa haswa kwa michakato ya uwekaji wa SiN (silicon nitridi), quartz ya usafi wa hali ya juu, na huduma maalum za mipako zinaweza kutolewa. Inaweza kuhimili halijoto ya juu ya 300 hadi 400℃+, kustahimili mmomonyoko wa plasma, ikiwa na ubora wa quartz ≥99.99%, uchafu wa metali chini ya 5ppm, kipenyo cha Bubble/mjumuisho ≤0.1mm, na nambari ≤3 kwa kila sentimita ya ujazo

Kazi kuu na majukumu:

●Vipengele muhimu vya chemba: Iko ndani ya chumba cha mchakato wa PECVD, huunda mpaka muhimu wa eneo la majibu.

● Kiwango cha juu cha joto na upinzani wa plasma: Imetengenezwa kwa Quartz ya hali ya juu, ina upinzani bora wa halijoto ya juu (joto la mchakato wa PECVD kwa kawaida huwa kati ya 300°C hadi 400°C+) na upinzani dhidi ya mmomonyoko wa plasma.

●Utengaji wa umeme/uhamishaji joto: Inachukua jukumu muhimu katika insulation ya umeme ndani ya chumba, kuhakikisha kizazi thabiti cha plasma na usawa wa mchakato.

●Shika mchakato wa kufunga gesi:Kusaidia katika kudumisha muhuri wa mazingira ya mchakato wa gesi ndani ya chumba.

●Ufafanuzi wa mazingira ya mchakato wa kaki: Jiometri yake na hali ya uso huathiri moja kwa moja usambazaji wa mtiririko wa gesi na plasma juu ya kaki, ambayo ni muhimu kwa usawa na ubora wa utuaji wa filamu nyembamba.

●Mipako ya uso: Baadhi ya pete za quartz zinazotumiwa katika michakato mahususi (kama vile SiN) zinaweza kuvikwa vipako maalum (kama vile oksidi yttrium Yttria) ili kupunguza zaidi uwekaji wa bidhaa au kuboresha utendakazi na maisha ya huduma chini ya michakato mahususi.

Vifaa vilivyotumika AMAT pete ya quartz Matukio ya maombi