Tanuru ya kusukuma kwa kutumia mashine ya kutolea moshi kwa ajili ya kuunganisha mbegu za fuwele za SiC

Kuunganisha fuwele za mbegu ni mojawapo ya michakato muhimu inayoathiri ukuaji wa fuwele. Kulingana na sifa za kuunganisha fuwele za mbegu, Semixlab imeunda vifaa maalum vya kusukuma kwa utupu kwa ajili ya kuunganisha fuwele za mbegu. Vifaa hivi hupunguza kwa ufanisi kasoro mbalimbali zinazotokana wakati wa mchakato wa kuunganisha, na hivyo kuboresha mavuno ya kuunganisha fuwele za mbegu na ubora wa mwisho wa fuwele.

Ⅰ. Utangulizi wa Vifaa vya Kubonyeza Moto vya Kusafisha Fuwele za Mbegu

1. Hutumika kwa ajili ya kuunganisha mbegu za fuwele kabla ya ukuaji wa fuwele za SiC;

2. Mbegu zilizounganishwa hudumisha mshikamano kwenye 2300°C bila kutengana, na kufikia mshikamano usio na viputo 100% wenye umbo la juu na nyuso safi za wafer bila uchafu unaofyonzwa;

3. Trei ya kupasha joto hutumia upashaji joto wa aina ya diski, kuhakikisha usambazaji sawa wa halijoto, uendeshaji salama, na utunzaji rahisi kutumia;

4. Vipima shinikizo vilivyowekwa chini ya trei huonyesha kwa usahihi shinikizo linalotumika kwenye kipini cha kazi.

II. Muhtasari wa Utendaji wa Vifaa vya Kubonyeza Moto vya Fuwele ya Mbegu

Tanuru ya Semixlab Seed Crystal Vacuum Hot Press imeundwa kwa ajili ya kushinikizwa kwa moto kwa kutumia utupu wa fuwele za mbegu za silikoni kabidi.

1. Chumba cha chuma chenye tabaka mbili kilichopozwa na maji hupunguza kwa ufanisi halijoto ya uso wa tanuru, hupunguza hatari za halijoto ya juu, na hupunguza athari za kimazingira;

2. Uwezo wa kutumia na kushikilia shinikizo kiotomatiki, kupakia taratibu, na kuhamisha kwa udhibiti otomatiki;

3. Mipangilio mbalimbali ya mifumo ya utupu inaruhusu uteuzi wa viwango tofauti vya utupu kulingana na mahitaji ya mchakato;

4. Usambazaji wa shinikizo sare na usahihi wa udhibiti wa halijoto ya juu;

5. Matumizi ya shinikizo hutumia mifumo ya usahihi wa mitambo ya kusukuma kwa ajili ya uwasilishaji sahihi na thabiti wa shinikizo, kuhakikisha uendeshaji salama na utangamano wa mazingira;

6. Muunganisho wa kiunganishi kati ya kichwa cha juu cha kubonyeza na fimbo ya kusukuma huhakikisha ulinganifu unaobadilika kati ya kichwa cha juu na trei ya chini wakati wa kubonyeza, kuhakikisha usambazaji sawa wa shinikizo;

7. Kichwa cha juu cha kubonyeza kinajumuisha matumizi ya shinikizo la mto kwa ajili ya uwasilishaji laini na mpole wa nguvu bila mgongano, kuzuia kuvunjika kwa kipande cha kazi;

8. Vipima joto vilivyounganishwa kwenye kiolesura cha sahani ya uhamishaji joto na kidhibiti joto, kuwezesha halijoto sahihi ya joto na udhibiti wa programu;

9. Pallet na kichwa cha juu cha kubonyeza hujumuisha vifaa vya kuhami joto ili kupunguza upotevu wa joto.

Ⅲ. Utendaji na Sifa za Vifaa vya Kubonyeza Moto vya Semixlab Seed Crystal

1. Utoaji wa utupu polepole kwa kiwango cha kusukuma kinachodhibitiwa;

2. Chumba kikubwa kwa uwezo wa kutosha wa uboreshaji;

3. Kichwa cha kubonyeza imara chenye uendeshaji otomatiki;

4. Kupanda na kudhibiti kutolewa kwa shinikizo kwa mteremko wa shinikizo kiotomatiki na kanuni za mapishi;

5. Udhibiti sahihi wa halijoto kwa kutumia mizunguko ya halijoto na shinikizo inayoweza kupangwa;

6. Vigezo vya utupu, shinikizo, na halijoto vinavyoweza kubinafsishwa kwa michakato mbalimbali ya kuunganisha;

7. Kuunganishwa mnene bila viputo;

8. Kiwango cha chini sana cha kuvunjika—karibu hakuna kuvunjika kunakosababishwa na kifaa;

9. Utangamano: Inasaidia wafers za inchi 6-12;

10. Shinikizo la juu zaidi la kushuka: 1.6 T;

11. Kisafishaji cha mwisho: 5 Pa (baridi);

12. Usawa wa halijoto ya jukwaa la kupasha joto: <±3℃, σ<4 (kwa 200℃);

13. Kushuka kwa shinikizo: <0.5%.

Vigezo vya tanuru ya kusukuma maji moto kwa ajili ya kuunganisha mbegu