Boti ya SiC ya Usafi wa hali ya juu

Boti ya silikoni ya hali ya juu (SiC) ni kibebea cha kauri chenye utendakazi wa juu kilichoundwa kwa ajili ya michakato ya semicondukta ya halijoto ya juu, ukuaji wa fuwele na matibabu sahihi ya joto. Imechomwa na nyenzo za SiC za usafi wa hali ya juu na ina upinzani bora wa joto la juu, upinzani wa mshtuko wa mafuta na utulivu wa kemikali. Inatumika sana katika uenezaji wa semiconductor, CVD, epitaxy ya LED na ukuaji wa fuwele moja ya photovoltaic.

maombi:

High Purity SiC Boat ni mchakato muhimu wa semiconductor unaotumika, hasa hutumika kubeba na kuhamisha kaki katika mazingira ya joto la juu, na hutumiwa sana katika uenezaji wa kaki ya silicon, uoksidishaji, annealing na michakato ya CVD. Inafaa haswa kwa michakato ya halijoto ya juu ya semiconductors ya kizazi cha tatu (kama vile SiC/GaN) na vifaa vya nguvu.

Huduma zinazoweza kutolewa:

uchambuzi wa hali ya maombi ya mteja, nyenzo zinazolingana, utatuzi wa shida za kiufundi.

Kampuni profile:

Semixlab ina maabara 2, timu ya wataalam walio na uzoefu wa nyenzo wa miaka 20, wenye R&D na uwezo wa uzalishaji, upimaji na uthibitishaji.

Ufundi vigezo

Sehemu kuu za maombi

Idhinisho la uthibitishaji wa mnyororo wa ikolojia

Uthibitishaji wa mnyororo wa ikolojia wa Semixlab High-Purity SiC Boat unashughulikia malighafi kwa uzalishaji, umepitisha uidhinishaji wa kiwango cha kimataifa, na ina idadi ya teknolojia zilizo na hakimiliki ili kuhakikisha kutegemewa na uendelevu katika sehemu za semicondukta na nishati mpya.

Mchakato wa kawaida wa maombi

Utayarishaji wa Malighafi (Poda ya SiC yenye Usafi wa Juu) → Mchakato wa Kuunda (Kubonyeza Kavu/Kubonyeza kwa Isostatic) → Mchakato wa Kunyunyizia → Uchimbaji na Umalizaji wa uso(CNC Kusaga/Kung'arisha, Uchongaji wa Kemikali, Ufungaji) → Usafishaji na Upakaji wa CVD → Udhibiti wa Ubora → Ufungaji

Kupitia uboreshaji wa vigezo vya mchakato wa hali ya juu, muundo wa kipekee wa Semixlab High-Purity SiC Boat huhakikisha uthabiti bora wa kaki huku ukipunguza kwa kiasi kikubwa hatari ya uchafuzi wa chembe. Uhai wake wa huduma unaweza kufikia mara 5-8 ya boti za jadi za quartz, na kuifanya kuwa suluhisho bora la carrier kwa usindikaji wa kaki ya juu ya joto. Ubunifu huu unaiwezesha kuchukua nafasi ya uagizaji hatua kwa hatua katika soko la semiconductor, kutoa suluhisho la ndani la utendaji wa juu, la gharama nafuu.

Kwa maelezo ya kina ya kiufundi, karatasi nyeupe, au mipangilio ya sampuli ya majaribio, tafadhali wasiliana na Timu yetu ya Usaidizi wa Kiufundi ili kuchunguza jinsi Semixlab inaweza kuongeza ufanisi wa mchakato wako.

Faida za msingi za Semixlab High-Purity SiC Boat

1. Usafi wa hali ya juu (faida kuu)

Boti ya Semixlab High-Purity SiC ina usafi wa hali ya juu (≥99.9999%), na maudhui ya uchafu (Fe, Al, Na, nk.) yanadhibitiwa katika kiwango cha 1 ppm ili kuepuka uchafuzi wa kaki au nyenzo za epitaxial, ambazo zinafaa hasa kwa utengenezaji wa SiC/GaN semiconductor.

2. Ajizi ya kemikali (upinzani wa kutu)

Inastahimili mmomonyoko wa asidi, alkali/plasma, na inaweza kustahimili gesi babuzi kama vile HF, HCl, H2 (kama vile michakato ya kuchomeka semiconductor). Hakuna kutolewa kwa gesi kwa joto la juu.

3. Nguvu za mitambo na muda wa maisha

Ugumu wa hali ya juu, upinzani bora wa uvaaji, hupunguza hatari ya kumwaga kwa chembe, na huongeza maisha ya huduma (kawaida mara 3 hadi 5 ya mashua ya quartz). Haiharibiki kwa urahisi katika halijoto ya juu, ikidumisha ulaini wa kaki (kama vile ukurasa unaozunguka katika tanuru ya uenezaji <0.1mm).

4. Utangamano wa mchakato

Inaweza kubadilika kulingana na aina mbalimbali za mazingira magumu, angahewa za oksidi/upunguzaji (kama vile O2, H2, Ar) na michakato ya upakaji wa CVD/PVD. Uso unaweza kubinafsishwa, kama vile kung'arisha (Ra<0.1μm) au kupaka (kama vile SiO2) ili kupunguza uchafuzi zaidi.