EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Vigae vya PZT vya piezoelectric vyenye filamu nyembamba
Wafers za filamu nyembamba za PZT Piezoelectric za Semixlab hutumika kama nyenzo kuu ya utendaji kazi kwa vifaa vya hali ya juu vya MEMS. Kwa kutumia michakato ya hali ya juu ya PVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kimwili), tumefanikisha uwekaji wa filamu nyembamba ya PZT ya polikristali kwenye substrates za kawaida za inchi 6 na inchi 8, zinazojulikana kwa vigeu vya piezoelectric vya juu sana na usawa wa hali ya juu. Kwa ulalo wa kiwango cha atomiki na udhibiti sahihi wa mwelekeo wa fuwele, bidhaa zetu huongeza kwa kiasi kikubwa ufanisi wa ubadilishaji wa kielektroniki huku zikihakikisha uthabiti wa kiwango cha uzalishaji na mavuno mengi. Zinafaa kikamilifu kwa matumizi ya kisasa ya MEMS—ikiwa ni pamoja na vibadilishaji sauti, pampu ndogo za usahihi, na mawasiliano ya RF—kuwapa wateja wetu uwezo wa kuziba pengo kutoka kwa utafiti na maendeleo ya maabara hadi uzalishaji mkubwa wa wingi bila shida.
Maelezo ya Kiufundi
Mrundiko wa Kawaida
Imeundwa kwa ajili ya utengenezaji wa MEMS wa kawaida, tunatoa miundo ya kawaida na iliyothibitishwa sana ambayo inahakikisha muunganisho usio na mshono na mistari ya usindikaji wa nusu-semiconductor.
| tabaka | Kazi ya msingi | Sifa ya kiufundi |
| Electrode ya Juu | Uhamisho wa Ishara | Upitishaji wa hali ya juu na uthabiti bora wa mchakato kwa kutumia chuma cha thamani. |
| Tabaka la Piezoelectric | Uongofu wa Nishati | Filamu nyembamba ya PZT yenye msongamano mkubwa, yenye mwelekeo mkali (100) yenye nguvu ya kuendesha. |
| Tabaka la Buffer | Mwelekeo wa Fuwele | Nishati ya kiolesura iliyoboreshwa; huzuia usambaaji wa elementi; huongeza upinzani wa uchovu wa ferroelectric. |
| Electrode ya chini | Msingi wa Kuaminika Sana | Elektrodi ya chuma bora ya hali ya juu inayohakikisha uthabiti wa umeme wa muda mrefu. |
| Safu ya Kushikamana | Kuunganisha na Kuunganisha | Huongeza mshikamano wa kiufundi kati ya elektrodi na substrate. |
| Sehemu ndogo (Si/SOI) | Msaada wa Kimuundo | Inaendana kikamilifu na mifumo ya kawaida ya Silicon (Si) au SOI ya inchi 8. |
Huduma za Ubinafsishaji na Uchimbaji
Suluhisho Zilizobinafsishwa kwa Matumizi ya Piezoelectric ya Utendaji wa Juu
Huduma zetu
● Filamu Nyembamba Maalum: Aina mahususi za filamu na urekebishaji wa unene wa usahihi.
● Kiwanda cha Utengenezaji wa Bidhaa cha OEM: Ukuaji wa ubora wa juu kwenye wafer zinazotolewa na wateja.
● Ujumuishaji wa SOI: Uhifadhi maalum kwa RF/MEMS ya hali ya juu.
Specifications
| Kigezo | Vipimo |
| Ukubwa wa Kaki | Inchi 6 / inchi 8 |
| Upinzani wa Juu wa Si | > 5,000 Ω`cm |
| Dopanti na Unene | Inaweza kubinafsishwa kwa kila muundo |
| Safu ya KIsanduku | Usaidizi kwa unene tofauti |
matumizi
Vigae vyetu vya piezoelectric vya PZT vya inchi 8 vimeundwa ili kukidhi mahitaji ya usahihi wa hali ya juu katika tasnia mbalimbali, vikiwa msingi wa ubadilishaji bora wa mitambo ya kielektroniki:
● Ubunifu wa Acoustics na Mawasiliano: Bora kwa Vibadilishaji vya Ultrasonic vya Piezoelectric Micromachined (pMUT) na MEMS za Acoustic (km, spika na maikrofoni zenye utendaji wa hali ya juu). Kwa unyeti wa hali ya juu na uthabiti wa awamu, wafers zetu huwezesha sauti iliyo wazi na upigaji picha wa ultrasonic wenye usahihi wa hali ya juu. Zaidi ya hayo, sifa za juu za Q-factor zinafaa kikamilifu vichujio vya RF MEMS kwa usindikaji wa mawimbi ya 5G/6G.
● Usahihi wa Fluidiki na Utendaji wa Nano: Kwa Vichwa vya Uchapishaji vya Inkjet na udhibiti wa usahihi wa umajimaji, viwianishi vyetu vya juu vya piezoelektriki huhakikisha uthabiti wa masafa ya juu na uthabiti wa kushuka kwa ujazo. Katika Pampu Ndogo za Kimatibabu/Urembo na Atomization, upinzani bora wa uchovu huhakikisha udhibiti sahihi wa mtiririko wakati wa operesheni ya muda mrefu.
● Utegemezi wa Viwanda na Kimatibabu: Kuanzia kunasa mwendo kwa kiwango kidogo hadi upitishaji wa ultrasonic wenye nguvu nyingi, suluhisho zetu za PZT hutoa nguvu thabiti ya kutoa, na kuwasaidia wateja kushinda vikwazo vya ukubwa na ufanisi wa diski za kawaida za sumakuumeme.
Ushindani Faida
Ufanisi Bora wa Ubadilishaji wa Kielektroniki
Kulingana na teknolojia ya hali ya juu ya udhibiti wa mwelekeo wa umbile, filamu nyembamba ina mgawo wa piezoelectric wenye ufanisi wa hali ya juu sana e31,f. Kama chanzo kikuu cha nguvu kwa viendeshi vya MEMS, huwezesha utoaji wa mabadiliko ya masafa ya juu na makubwa ya uhamishaji kwa volteji za chini sana za kuendesha.
Usawa wa Mchakato wa Daraja la Uzalishaji kwa Wingi
Teknolojia ya udhibiti wa uundaji wa filamu katika kiwango cha atomiki inahakikisha usawa wa unene wa filamu nyembamba za inchi 8 zinazofikia viwango vya kiwango cha tasnia. Ukali wa uso wa chini ya nanomita hukidhi kikamilifu mahitaji ya usindikaji wa miundo midogo ya akustisk na optiki ya usahihi.
Ubora na Uaminifu Kali
Msongamano mdogo sana wa kasoro na udhibiti bora wa chembe huboresha kwa kiasi kikubwa mavuno ya muundo katika utengenezaji unaofuata wa nano ndogo. Muundo ulioboreshwa wa safu nyingi za rafu na muundo maalum wa safu ya bafa hukandamiza kwa ufanisi uchovu wa ferroelectric, na kuhakikisha uthabiti wa muda mrefu wa vifaa chini ya hali ngumu za uendeshaji.
