pete ya inchi 8 ya SiC iliyopakwa grafiti kwa SiC Epitaxy

Tabia za Nyenzo na Kimwili

Pete ya grafiti iliyopakwa ya SiC ya Semixlab imetengenezwa kutoka kwa grafiti ya isostatic kama nyenzo ya msingi, ikifuatiwa na uwekaji sare wa mvuke wa kemikali (CVD) SiC mipako. Muundo huu wa kipekee hutoa usawa wa nguvu, usahihi, na upinzani kwa hali mbaya ya mchakato.

Maombi katika Mchakato wa SiC Epitaxy

Katika mchakato wa ukuaji wa epitaxial wa SiC, pete ya grafiti iliyopakwa ya SiC hutumika kama sehemu ya kimuundo na kiolesura cha kazi kati ya kaki, kizio, na sehemu nyingine za grafiti ndani ya chumba cha athari cha MOCVD au CVD. Utendaji wake huathiri moja kwa moja ubora wa safu ya epitaxial, usawa wa filamu, na uthabiti wa jumla wa kinu — vigezo vyote muhimu vya uundaji wa vifaa vya nguvu vya SiC vya mazao ya juu.

1. Msaada wa Kaki na Upatanishi

Pete ya grafiti imetengenezwa kwa usahihi ili kuhakikisha uwekaji sahihi wa kaki na uwekaji salama wakati wa utuaji wa epitaxial ya joto la juu. Uthabiti wake wa kipenyo chini ya upakiaji wa mafuta hudumisha upangaji sahihi wa kaki na huzuia kupishana kwa kingo, na kuhakikisha ukuaji thabiti wa safu kwenye uso wa kaki.

2. Usambazaji Sare wa Joto

Wakati wa epitaksi ya SiC, kudumisha kipenyo sawa cha joto kwenye kaki nzima ni muhimu ili kufikia unene thabiti wa filamu na mkusanyiko wa doping. Pete iliyopakwa ya SiC husaidia kusawazisha mzigo wa mafuta kwa kuboresha uhamishaji wa joto kati ya kizio na sehemu ya ukingo wa kaki, kupunguza sehemu za moto na kuhakikisha uundaji sare wa safu ya epitaxial hata katika halijoto ya juu zaidi ya 1600°C.

3. Mchakato wa Ulinzi wa Mazingira

Vipengee vya grafiti ambavyo havijafunikwa huathiriwa na mmomonyoko wa kemikali na utoaji wa chembe katika angahewa tendaji za epitaksia zenye gesi kama vile H₂, SiH₄, na C₃H₈. Mipako ya CVD SiC kwenye pete hufanya kama kizuizi cha kinga, ikitenganisha substrate ya grafiti kutoka kwa gesi babuzi, na hivyo kupunguza uchafuzi wa uchafu na kuzuia chembe za kaboni kuingia katika eneo la ukuaji. Hii inaleta uboreshaji wa usafi wa uso wa kaki na mavuno ya juu ya kifaa.

4. Kupunguza Madhara na Uboreshaji wa Mtiririko wa Gesi

Katika mifumo ya hali ya juu ya inchi 8 ya SiC, usawaziko wa kingo mara nyingi ni changamoto kuu ya mchakato. Pete ya grafiti iliyofunikwa ya SiC husaidia kuleta utulivu wa mtiririko wa gesi ya lamina karibu na ukingo wa kaki, kuzuia maeneo yenye misukosuko na kuhakikisha mazingira ya safu ya mipaka inayodhibitiwa. Usambazaji huu wa mtiririko wa gesi ulioboreshwa huchangia katika udhibiti bora wa unene wa epitaxial, kupunguza upotevu wa nyenzo na kuhakikisha uwekaji wa safu ya ubora wa juu hata kwenye kaki za kipenyo kikubwa.

5. Utangamano na Miundo Nyingi ya Reactor

Pete za grafiti za Semixlab za SiC zimeundwa ili uoanifu na chapa kuu za vifaa vya epitaxy kama vile AIXTRON, Veeco, na LPE. Pete zinaweza kubinafsishwa katika jiometri, unene wa kupaka, na muundo wa kiolesura ili kuendana ipasavyo na miunganisho mahususi ya kinyesi, kuwezesha muunganisho usio na mshono na utendakazi thabiti kwenye majukwaa tofauti ya epitaxial.

6. Sehemu Iliyoongezwa Muda wa Maisha na Kuegemea kwa Mchakato

Kupitia mchanganyiko wa nguvu ya juu ya mitambo ya grafiti ya isostatic na upinzani wa kipekee wa uvaaji wa CVD SiC, pete iliyofunikwa huonyesha uimara bora chini ya uendeshaji wa mzunguko wa muda mrefu. Inastahimili uharibifu wa microcracking, kutu kwa kemikali, na uchovu wa joto, kuhakikisha utendakazi thabiti juu ya mizunguko ya mchakato uliopanuliwa, na hivyo kupunguza mzunguko wa matengenezo na gharama za uendeshaji katika mistari ya juu ya uzalishaji wa epitaksi.

Faida za Semixlab

Kwa zaidi ya miongo miwili ya utaalamu katika semiconductor epitaxy na teknolojia ya juu ya mipako ya kauri, Semixlab hutoa ufumbuzi wa kina kwa vipengele vya SiC vya usafi wa juu.

Faida zetu kuu:

●Utengenezaji Maalum:Ukubwa uliolengwa, unene wa kupaka, na jiometri kulingana na miundo mahususi ya kinu (AIXTRON,Veeco,LPE, n.k.).

●Sampuli ya Usaidizi: Utoaji wa uchapaji wa haraka na huduma ya sampuli inapatikana kwa tathmini na uthibitishaji wa mchakato.

● Ushauri wa Kiufundi: Wahandisi wenye uzoefu hutoa ushauri wa ujumuishaji wa mauzo ya awali na mchakato ili kuboresha utendaji na maisha marefu.

● Uhakikisho wa Ubora: Kila kipengele hukaguliwa kwa usahihi, kipimo cha unene wa kupaka na kupima halijoto ya juu kabla ya kujifungua.