kaki ya quartz ya semiconductor

Kaki ya Quartz ya Semixlab Semiconductor ni sehemu ndogo ya silika iliyounganishwa kwa usahihi-iliyosafishwa kwa ubora wa hali ya juu iliyoundwa kwa ajili ya mahitaji ya mazingira ya usindikaji wa semicondukta.

Inatumika sana kama kaki ya dummy, carrier carrier, substrate ya macho, na msingi wa picha katika uoksidishaji wa joto, CVD/LPCVD, PECVD, na mifumo ya lithography.

Imeundwa kutoka 99.99% ya ubora wa juu wa SiO₂, kaki hii ya quartz inatoa uthabiti wa kipekee wa joto, ajizi ya kemikali, na uwazi wa macho, kuhakikisha utendakazi thabiti na usio na uchafuzi katika njia za juu za utengenezaji wa semiconductor.

Ⅰ. Nyenzo na Sifa za uso

● Nyenzo: Silika ya syntetisk au asili iliyounganishwa (SiO₂ ≥ 99.99%).

● Chaguo za Kipenyo: 2", 4", 6", 8", 12" (ukubwa maalum unapatikana).

● Uso wa Kumalizia: Imeng'aa kwa pande mbili, kujaa ≤ 5 μm, ukwaru wa uso ≤ 0.5 nm.

● Ustahimilivu wa Joto: Imara hadi 1200°C operesheni inayoendelea.

● Mgawo wa Upanuzi wa Joto: 5.5 × 10⁻⁷ /°C.

● Usambazaji wa Macho: > 90% kutoka nm 190 hadi 2,600 nm.

Kila kaki hupitia ukaguzi mkali wa uso, uthibitishaji wa kipenyo, na uchanganuzi wa usafi ili kuhakikisha utiifu kamili wa mahitaji ya kiwango cha semiconductor.

Ⅱ. Kazi Muhimu katika Michakato ya Semiconductor

1. Mtoa huduma wa Mchakato katika Mifumo ya CVD na LPCVD

Kaki za quartz hutumika kama dummy au wafe wa spacer ili kuleta utulivu wa mtiririko wa gesi na usawa wa halijoto wakati wa SiO₂, Si₃N₄, na uwekaji wa filamu nyembamba ya polysilicon. Usahihi wao wa kipenyo huhakikisha ukuaji sawa wa filamu na uzalishaji mdogo wa chembe katika mizunguko ya uwekaji.

2. Maombi ya Oxidation na Diffusion tanuru

Katika michakato ya uoksidishaji wa halijoto ya juu na uenezaji wa dopant, kaki za quartz hufanya kama ngao za joto au vichunguzi vya mchakato, kudumisha usambazaji sawa wa joto na kuzuia uchafuzi wa kaki za uzalishaji.

3. Matumizi ya Macho na Lithography

Shukrani kwa upitishaji wake wa juu wa upitishaji wa macho na usawazishaji wa fahirisi ya kuakisi, kaki ya quartz ni bora kwa utengenezaji wa fotomask, sehemu ndogo za mfiduo wa DUV, na zana za urekebishaji wa macho. Inahakikisha upitishaji wa mwanga thabiti kwa mifumo ya maandishi ya i-line, KrF, na ArF.

4. Plasma na Mazingira ya Etching

Katika mifumo ya uwekaji kavu na plasma ya CVD, kaki za quartz hutumiwa kama ngao za chumba au madirisha ya plasma, kutoa nguvu bora ya dielectric na uimara wa kemikali dhidi ya gesi zenye msingi wa halojeni (CF₄, SF₆, Cl₂).

5. Urekebishaji wa Metrolojia na Vifaa

Kaki za quartz hutumika kama kaki za marejeleo za unene wa filamu, halijoto, na urekebishaji wa kujaa. Uso wao laini kabisa, usio na kasoro huwezesha matokeo sahihi na yanayoweza kurudiwa ya kipimo, kuhakikisha uthabiti wa udhibiti wa mchakato.

Maombi ya Kawaida

● Dummy kaki ya mifumo ya CVD, LPCVD na PECVD

● Mchakato wa mtoa huduma au ngao ya joto katika vinu vya oksidi na uenezaji

● Kitenge kidogo cha picha cha usomaji picha kwa UV/DUV lithography

● Kaki ya marejeleo kwa urekebishaji wa vifaa na metrolojia

● Dirisha la chemba ya plasma na kilinda mchakato wa kuchomeka

Kaki ya Quartz ya Semixlab Semiconductor ni sehemu ndogo ya utendakazi wa hali ya juu iliyoundwa kwa ajili ya michakato ya semiconductor inayohitaji sana. Uthabiti wake wa joto, usahihi wa macho, na usafi wa kemikali huifanya iwe muhimu katika uwekaji, uwekaji oksidi, lithography, na matumizi ya metrology. Kwa usaidizi kamili wa ubinafsishaji na uhandisi, Semixlab hutoa suluhisho ambazo huongeza uthabiti wa mchakato, kuegemea kwa mavuno, na ufanisi wa kufanya kazi. Tunatumai kwa dhati kuwa mshirika wako wa muda mrefu nchini China.