Boti ya kaki ya quartz yenye usafi wa hali ya juu

Boti ya kaki ya quartz ya usafi wa juu imetengenezwa kwa mchanga wa quartz ya synthetic kwa mchakato wa kuyeyuka kwa arc, ambayo ina mgawo wa chini sana wa upanuzi wa mafuta na upinzani bora wa mshtuko wa joto ili kuhakikisha kuwa hakuna hatari ya deformation au ngozi katika mchakato wa kupanda na kuanguka kwa kasi. Uso huo umeng'olewa kwa usahihi ili kupunguza uchafuzi wa chembe, unaofaa kwa mazingira magumu na safi katika utengenezaji wa semiconductor. Bidhaa inasaidia saizi iliyobinafsishwa (urefu 100-500mm, idadi ya inafaa 2-24) na inabadilika kwa saizi tofauti za kaki (4 "-12").

1. Tabia za nyenzo za msingi

Mchakato wa kuyeyuka kwa safu ya mchanga wa synthetic wa quartz

Kwa kutumia mchanga wa quartz wa usafi wa hali ya juu (SiO₂ usafi ≥99.999%), muundo wa glasi ya amofasi ya quartz huundwa na teknolojia ya kuyeyuka kwa arc. Utaratibu huu huondoa kasoro za mipaka ya nafaka, huboresha kwa kiasi kikubwa usawaziko wa nyenzo, na kuhakikisha kwamba boti za kaki zinasalia thabiti kwenye joto la juu (≤1250 °C).

Mgawo wa chini zaidi wa upanuzi wa joto

Sababu ya upanuzi wa joto ni chini ya 5.5×10^-7K^-1(20-300 °C), kuruhusu karibu hakuna mabadiliko ya ukubwa wakati wa kupanda na kushuka kwa kasi kwa joto (kwa mfano, 200 °C / min katika michakato ya semiconductor), kuepuka microcracks au deformation kutokana na mkazo wa joto.

Uboreshaji wa upinzani wa mshtuko wa joto

Kupitia mchakato wa upenyezaji wa upinde rangi, tofauti ya joto ya kustahimili mshtuko wa mafuta inaweza kufikia 1200℃→ joto la kawaida kwa zaidi ya mizunguko 100 bila kupasuka, ikidhi mahitaji madhubuti ya upandikizaji wa ayoni, upenyezaji wa haraka na michakato mingineyo.

2. Usahihi wa usindikaji na matibabu ya uso

Teknolojia ya polishing ya Nanoscale

Ukwaru wa uso unadhibitiwa kwa Ra≤0.2μm, na ung'arishaji wa kemikali wa mitambo (CMP) pamoja na uwekaji wa plasma hutumika kupunguza upenyezaji wa chembe, na usafi unaambatana na kiwango cha SEMI F47 (nambari ya chembe ≤10 /[barua pepe inalindwa]mm).

Mipako ya kuzuia uchafu (si lazima)

Mipako ya CARBIDI ya silikoni au uso wa nitridi ya silikoni inaweza kubinafsishwa ili kupunguza mgawo wa msuguano wa sehemu ya kaki inayogusa (μ≤0.05), kupunguza hatari ya mikwaruzo na uhamiaji wa ayoni ya chuma.

Maelezo ya haraka:

1. Majina mengine: Boti ya Quartz, bracket ya kaki.

2. Maombi: Kubeba na kusambaza katika mchakato wa joto la juu la kaki ya semiconductor, inayofaa kwa kuenea, oxidation na taratibu nyingine.

3. Vigezo vya msingi: usafi ≥99.99%, upinzani wa juu wa joto 1200℃, mgawo wa upanuzi wa mafuta 5.5×10^-7/℃.

1. Usindikaji wa kaki ya semiconductor (tanuru ya kueneza, tanuru ya oxidation).

2. Sekta ya Photovoltaic ya usindikaji wa kaki ya silicon.

3. Maabara ya daraja la juu joto majaribio kaki kuzaa.

Sekta ya usafi inayoongoza, maudhui ya uchafu wa chuma <1ppm.

Muda mrefu wa huduma (≥500 mizunguko ya joto la juu).

Kusaidia ubinafsishaji usio wa kawaida, mzunguko mfupi wa utoaji.