Kizio cha Quartz 300mm

Kizio cha AMAT Quartz cha Kuhami cha 300mm (Nambari ya Sehemu 0200-14197) ni sehemu ya quartz iliyobuniwa kwa usahihi na usafi wa hali ya juu iliyoundwa kwa ajili ya matumizi katika vifaa vya mchakato wa semiconductor vya 300mm, ikiwa ni pamoja na mifumo ya PVD, CVD, na plasma.

Kama kipengele muhimu cha kimuundo na utendaji kazi ndani ya chumba, sehemu hii huunganisha usaidizi wa kiufundi, insulation ya umeme, na utenganishaji wa michakato katika suluhisho moja la utendaji wa juu. Imetengenezwa mahsusi ili kukidhi mahitaji magumu ya utengenezaji wa wafer wa hali ya juu, ambapo uthabiti wa michakato, udhibiti wa uchafuzi, na uaminifu wa vifaa ni muhimu.

Katika Semixlab, tunatengeneza vipengele vya msingi vya quartz kwa kutumia quartz iliyounganishwa kwa usafi wa hali ya juu na teknolojia za hali ya juu za uchakataji ili kuhakikisha usahihi bora wa vipimo, utendaji wa dielectric, na uimara wa muda mrefu chini ya mazingira magumu ya plasma.

Kwa Nini Uchague Semiconductor ya Semicera?

Semixlab huchanganya utaalamu wa vifaa, maarifa ya michakato ya nusu-semiconductor, na utengenezaji wa usahihi ili kutoa vipengele vya quartz vinavyoaminika kwa vitambaa vya hali ya juu.

Yetu Manufaa:

● Udhibiti wa nyenzo za quartz zenye usafi wa hali ya juu sana

● Uchakataji wa uvumilivu mkali kwa vipimo muhimu

● Utendaji uliothibitishwa katika matumizi yanayotumia plasma nyingi

● Suluhisho zinazoendana na OEM kwa mifumo ya AMAT

● Usaidizi thabiti wa ugavi na uhandisi wa kimataifa

Maombi ya Mchakato na Nafasi ya Chumba

Kizio cha Quartz Insulator kinatumika hasa katika michakato ya utengenezaji wa semiconductor ya mbele, haswa katika mazingira yanayohusisha plasma ya RF, hali ya juu ya ताप, na usindikaji wa utupu.

Nafasi ya Chumba

Kipengele hiki kimewekwa katika sehemu ya chini ya chumba cha mchakato, kwa kawaida chini au karibu na kusanyiko la usaidizi wa wafer (km, chuck ya umeme au hatua ya hita).

Inafanya kazi karibu na:

● Eneo la kushughulikia wafer

● Chuki ya umemetuamo (ESC) au muundo wa kitako

● Maeneo ya plasma yanayotumia RF

Jukumu katika Usanifu wa Vifaa

Ndani ya mfumo wa chumba, Kizio cha Quartz cha Kuhami hutumika kama kiunganishi muhimu kati ya vipengele vinavyofanya kazi kwa umeme na miundo ya mitambo iliyotundikwa.

Nafasi yake inaiwezesha:

● Tenganisha kwa umeme vipengele vyenye volteji nyingi au vinavyotumia RF

● Kusaidia uadilifu wa kiufundi wa hatua ya wafer

● Dumisha mazingira thabiti na yanayodhibitiwa ya mchakato

Kazi Kuu na Faida za Utendaji

1) Insulation ya Umeme katika Mazingira ya Plasma ya RF

Mojawapo ya kazi muhimu zaidi za sehemu hii ni kutoa insulation ya nguvu ya dielectric ya juu katika mifumo inayofanya kazi chini ya upendeleo wa RF na hali ya plasma.

● Huzuia uvujaji wa umeme na njia za mkondo zisizotarajiwa

● Hupunguza hatari ya kukwama kwa plazma na kutokuwa na utulivu

● Huhakikisha usambazaji thabiti wa sehemu ya RF

Matokeo: Ubora wa kurudia mchakato na usalama wa vifaa

2) Usaidizi wa Mitambo na Uthabiti wa Miundo

Kama sehemu ya mkusanyiko wa msingi, sehemu hutoa:

● Usaidizi thabiti kwa mifumo ya utunzaji wa wafer

● Usahihi wa hali ya juu ili kudumisha mpangilio

● Upinzani dhidi ya mabadiliko ya joto chini ya mzunguko wa joto

Matokeo: Usahihi ulioimarishwa wa kuweka wafer na usawa wa filamu

3) Utangamano wa Plasma na Udhibiti wa Uchafuzi

Imetengenezwa kwa quartz yenye usafi wa hali ya juu sana, sehemu hii inatoa:

● Viwango vya chini vya uchafu wa metali

● Upinzani bora dhidi ya mmomonyoko wa plasma

● Uzalishaji mdogo wa chembe

Matokeo: Kupunguza hatari ya uchafuzi na kuongeza mavuno ya kaferi

4) Utendaji wa Kutenganisha Joto

Quartz inaonyesha upitishaji mdogo wa joto, ikiruhusu msingi kufanya yafuatayo:

● Tenga uhamishaji wa joto kati ya hita/ESC na miundo ya chumba

● Dumisha wasifu thabiti wa wafer

● Punguza msongo wa joto ndani ya mfumo

Matokeo: Udhibiti bora wa michakato na maisha marefu ya vipengele