Usafi wa hali ya juu wa mirija ya sic tanuru
Kama mtengenezaji na msambazaji anayeongoza wa Miriba ya High Purity Sintered SiC Furnace nchini Uchina, Mirija ya Sintered SiC Furnace ya Semixlab imeundwa kwa ajili ya michakato ya hali ya juu ya semiconductor, ikijumuisha ukuaji wa epitaxial, oxidation ya joto, na doping ya kueneza. Inapatikana katika vipimo maalum na viwango vya usafi, mirija ya Semixlab hupitia ukaguzi mkali na majaribio ya uendeshaji wa baiskeli ya joto, ikitoa utendakazi unaotegemewa kwa uzalishaji wa kiwango cha juu cha semiconductor.
Maelezo ya Kiufundi
Mirija ya tanuru ya silicon (SiC) yenye usafi wa hali ya juu ni sehemu muhimu katika utengenezaji wa semiconductor ya hali ya juu. mirija hii inayojulikana kwa uthabiti wake wa kipekee wa hali ya joto, hali ya hewa isiyo na kemikali na maudhui ya uchafu kidogo, mirija hii hutoa mazingira yasiyo na uchafuzi kwa michakato ya halijoto ya juu kama vile ukuaji wa epitaxial, uoksidishaji wa joto, na doping ya kueneza. Kwa kupunguza uzalishaji wa chembe na uchafuzi wa ioni za chuma, mirija ya SiC iliyoingizwa, inahakikisha utendakazi wa kifaa na ubora wa juu.
Specifications
| Tabia ya kimwili ya Sintered Silicon Carbide | |
| mali | mfano Thamani |
| kemikali utungaji | SiC>95%, Si<5% |
| Uzani wa Wingi | >3.07 g/cm³ |
| Dhahiri porosityKuonekana porosity | |
| Moduli ya kupasuka kwa 20 ℃ | 270 MPa |
| Moduli ya kupasuka kwa 1200 ℃ | 290 MPa |
| Ugumu katika 20 ℃ | 2400 Kg/mm² |
| Ugumu wa kuvunjika kwa 20% | 3.3 MPa · m1/2 |
| Uendeshaji wa joto katika 1200 ℃ | 45 w/m · K |
| Upanuzi wa joto kwa 20-1200 ℃ | 4.51 × 10-6/ ℃ |
| Kiwango cha juu cha joto cha kufanya kazi | 1400 ℃ |
| Upinzani wa mshtuko wa mafuta kwa 1200 ℃ | nzuri |
matumizi
Maombi katika Mchakato wa Semiconductor
1. Ukuaji wa Epitaxial
Jukumu: Mirija ya Sintered SiC ya tanuru hutoa mazingira thabiti ya eneo la moto kwa epitaksi ya silicon na michakato iliyochaguliwa ya SiC epitaksi.
Changamoto katika Epitaxy:
● Hali ya joto isiyo sare inayosababisha unene wa safu kutofautiana.
● Uchafuzi wa chembe ambao huongeza msongamano wa kasoro katika filamu za epitaxial.
●Kutu kutokana na mchakato wa klorini au halojeni.
Suluhisho na Mirija ya Semixlab SiC:
● Uendeshaji wa juu wa mafuta huhakikisha usambazaji sawa wa joto.
● Muundo mnene wa sintered hupunguza kutolewa kwa chembe.
●Uhimili bora wa kutu huongeza maisha ya huduma chini ya kemia kali.
2. Mchakato wa Oxidation ya joto
Jukumu: Katika vinu vya oksidi, mirija ya SiC iliyochomwa hufanya kama chumba cha athari ambapo kaki za silicon huwekwa wazi kwa oksijeni au mvuke ili kuunda tabaka sare za SiO2.
Changamoto katika Oxidation:
●Mirija ya quartz inaweza kuharibika au kuanzisha uchafu wa metali kwa mizunguko mirefu.
● Gradients zisizo sawa za mafuta huathiri usawa wa unene wa oksidi.
● Unyevu wa halijoto ya juu unaweza kuongeza kasi ya uharibifu wa nyenzo.
Suluhisho na Mirija ya Semixlab SiC:
●Ustahimilivu wa hali ya juu wa mshtuko wa mafuta huzuia kupasuka kwa mirija wakati wa kuongeza joto na kupoeza mara kwa mara.
●Utungaji wa SiC yenye usafi wa hali ya juu hupunguza uchafuzi na kudumisha ubora wa oksidi.
● Maisha marefu ya huduma hupunguza muda na gharama ya kubadilisha.
3. Usambazaji wa Doping
Jukumu: Mirija ya Sintered SiC hutumika kama vyumba vya tanuru vya kueneza kwa ajili ya kuanzisha dopanti (B, P, As) kwenye kaki za silicon.
Changamoto katika Usambazaji:
● Mwingiliano kati ya gesi za dopant (POCls, BBr3, PHs) na kuta za mirija na kusababisha uchafuzi.
● Mkusanyiko wa chembe zinazosababisha kuvuja kwa makutano na hasara ya mavuno.
● Uharibifu wa muundo wakati wa matumizi yaliyopanuliwa ya halijoto ya juu.
Suluhisho na Mirija ya Semixlab SiC:
● Uso usiozimika kwa kemikali hustahimili athari na gesi za dopant.
● Muundo mnene hupunguza uzalishaji wa chembe.
● Utendaji thabiti chini ya mizunguko ya usindikaji ya 800-1,200°C huhakikisha wasifu thabiti wa dopant.

Ushindani Faida
Katika Semixlab, tunatoa suluhisho kamili iliyojengwa juu ya nguzo tatu za msingi:
●Uhandisi wa Kubinafsisha na Usahihi: Tunaelewa kuwa kila mchakato ni wa kipekee. Timu yetu ya wahandisi hufanya kazi moja kwa moja na wewe kuunda na kutengeneza mirija maalum ya tanuru ya SiC ambayo inalingana kikamilifu na mahitaji yako ya mchakato na vipimo vya kifaa. Tunaweza kuboresha vipimo, unene wa ukuta na umaliziaji wa uso ili kuongeza utendakazi na kupanua maisha ya bomba.
●Ushauri wa Kitaalamu wa Kiufundi: Timu yetu ya wanasayansi wa vifaa vya semiconductor waliobobea inapatikana ili kutoa usaidizi wa kina wa kiufundi. Iwe unasuluhisha suala la mavuno au unatengeneza mchakato mpya wa halijoto ya juu, tunaweza kutoa ushauri wa kitaalamu kuhusu jinsi ya kujumuisha vipengele vyetu vya SiC kwa matokeo bora.
●Uhakikisho Madhubuti wa Ubora wa Kabla ya Usafirishaji: Tunathibitisha usahihi wa vipimo wa kila bomba, umaliziaji wa uso na usafi kwa kutumia mbinu za hali ya juu za kupima na kuchanganua vipengele. Mchakato huu mkali wa QA unahakikisha kuwa kila bidhaa ya Semixlab unayopokea iko tayari kwa utengenezaji wa kiwango cha juu nje ya boksi.
Kuboresha michakato ya semiconductor yako kwa kutumia mirija ya SiC ya Semixlab yenye ubora wa hali ya juu iliyotengenezwa kwa tanuru—iliyoundwa ili kutoa uthabiti wa kipekee wa halijoto, ajizi ya kemikali, na utendakazi usio na uchafuzi kwa matumizi ya epitaksi, oksidi na usambaaji. Iwe unahitaji vipimo maalum, vipimo vya usafi wa hali ya juu, au mashauriano ya kitaalamu, Semixlab huhakikisha kaki zako zinapata mavuno bora na kutegemewa kwa kifaa. Wasiliana na timu yetu ya kiufundi ili kukidhi mahitaji yako ya utengenezaji wa semicondukta.
Huduma zetu

Duka la Bidhaa la Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




