EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC membrane ya kauri
SiC Ceramic Membrane iliyotengenezwa na Semixlab Semiconductor ni kijenzi cha silicon ya silicon iliyobuniwa kwa usahihi iliyoundwa kwa ajili ya mazingira safi zaidi na ya halijoto ya juu katika michakato ya CVD, MOCVD, na PECVD. Kwa uthabiti wa kipekee wa kemikali, nguvu za kimitambo, na upitishaji wa joto, hutoa udhibiti wa kuaminika wa mtiririko wa gesi, uchujaji wa chembe, na kuzuia uchafuzi ndani ya vinu vya kutengeneza semiconductor.
Maelezo ya Kiufundi
Katika utengenezaji wa semiconductor wa hali ya juu, SiC Ceramic Membrane hutumika kama kijenzi chenye kazi nyingi ambacho huathiri moja kwa moja uthabiti wa mchakato, usawa wa kaki, na utendaji wa jumla wa mavuno. Ndani ya mifumo ya CVD, MOCVD, na PECVD, inafanya kazi kama kiolesura muhimu kati ya gesi za mchakato na mazingira ya athari, kuhakikisha udhibiti sahihi wa mienendo ya mtiririko, usawa wa joto, na ukandamizaji wa uchafuzi.
Kupitia usanifu wake wenye vinyweleo vingi, utando wa SiC hukuza laminar na usambazaji wa gesi uliosambazwa sawasawa kwenye uso wa kaki. Uga huu wa mtiririko unaofanana hupunguza tofauti za ndani katika mkusanyiko wa mtangulizi, na hivyo kuimarisha usawa wa unene wa filamu na uthabiti wa utunzi wakati wa utuaji wa epitaxial au dielectric. Wakati huo huo, muundo mzuri wa vinyweleo hutumika kama kichujio bora cha chembe chembe za halijoto ya juu, kunasa vifinyanzi, mabaki ya kaboni, na chembe ndogo ndogo kabla hazijafika eneo la kaki amilifu—jambo muhimu katika kupunguza msongamano wa kasoro na kudumisha utegemezi wa juu wa kifaa.
Zaidi ya mtiririko na uchujaji, matrix ya kauri ya SiC hutoa kizuizi cha nguvu cha joto na kemikali ndani ya chumba cha mchakato. Hutenga vipengele nyeti kutoka kwa spishi tendaji, hupunguza uchafuzi wa nyuma, na huhifadhi usafi wa chumba wakati wa mizunguko ya uzalishaji iliyopanuliwa. Katika maeneo ya kutolea moshi, teknolojia hiyo hiyo ya utando inaweza kutumika kuleta utulivu wa shinikizo na kunasa mabaki ya bidhaa, kuchangia kwenye njia safi za kutolea moshi na vipindi virefu vya matengenezo.
Kwa kuunganisha kazi hizi katika kipengele kimoja cha kudumu, SiC Ceramic Membrane sio tu inaboresha ufanisi wa uendeshaji wa CVD na MOCVD reactors lakini pia huwezesha mazingira ya mchakato imara zaidi na unaoweza kurudiwa-ambayo inakidhi mahitaji ya usafi na utendaji wa kizazi kijacho cha utengenezaji wa semiconductor.
Jinsi ya kutengeneza membrane ya kauri ya SiC
Duka la Bidhaa la Semixlab
