SiC keramik

Kauri za SiC hutumika zaidi na zaidi katika vifaa vya nusu-semiconductor, hasa kwa sababu hustahimili vyema katika hali ngumu zaidi. Wakati halijoto inapoongezeka au mchakato unapokuwa mkali zaidi, vifaa kama vile quartz au silicon vinaweza kuanza kuonyesha mipaka, na hapo ndipo SiC hutumika. Katika michakato ya tanuru kama vile oxidation au usambazaji, sehemu kama vile boti za wafer au makasia yaliyotengenezwa kutoka SiC huwa hudumu kwa muda mrefu zaidi. Hudumisha umbo lao na hazileti uchafuzi mwingi, hata baada ya kukimbia kwa muda mrefu. Mara nyingi watu hubadilisha kutoka kwa quartz kwa sababu hii, haswa wakati matengenezo yanakuwa ya mara kwa mara sana.

Kwa ajili ya kung'oa, SiC mara nyingi huchaguliwa kwa sababu tu inaishi kwa muda mrefu zaidi katika plasma. Tofauti ya maisha ikilinganishwa na sehemu za silikoni inaonekana katika mipangilio mingi, ingawa bado inategemea mchakato halisi. Pia husaidia kidogo na udhibiti wa chembe, ambao unakuwa nyeti zaidi kadri nodi zinavyopungua. Pia utaona SiC ikitumika kama vizuizi katika MOCVD au CVD. Katika hali hizo, haizungumzii sana "nguvu" bali inahusu zaidi kudumisha tabia ya halijoto imara. Nje ya hayo, inaonekana katika sehemu za chumba kama vile vifuniko au vichwa vya kuogea, na wakati mwingine katika vipengele vya kushughulikia pia.